SJT 31157-1994 FLB型复合真空泵完好要求和检查评定方法
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ID： |
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文件大小(MB)： |
0.2 |
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页数： |
2 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31157—94,FLB型复合真空泵完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 FLB型复合离子泵的完好要求和评定方法,本标准适用于FLB型复合离子泵,2完好要求,2.1 主要性能,2.1.1 极限压强:3X10-Pa,起动压强IPa,抽气速率:700~1000L/s；,2.1.2 灯丝电流;7.5.10A,栅极电压6OO-8OOV；,冷泵工作电压:5000.6000Vdc；,磁场强度:130OT （特斯拉）；,2.2 操作系统:,2.2.1 泵工作电压调节平滑、轻便、调节过程平稳,无冲击,无振动,2. 2. 2与复合泵配合使用的CD-J50型、CD—j20型超高真空阀门和DJT型裸式规管等应,操作方便、灵活,密封性能良好,2.3 电源系统:,2.3.1 泵工作电源开、关灵活、可靠,电源技术指标应满足2.1.2的规定,2.3.2 电源系统应运行可靠,线路完整,导线绝缘层无破损,电源线路无临时拖线,元器件无,拖挂,电源漏电流不超过额定值,2.4 安全防护,2.4.1 泵工作电源的安全防护应符合GB 4793—84《电子测量仪器安全要求》的规定,2.4.2 电源应具有过电流保护装置且灵敏、有效。泵工作时外壳应与大地连接良好,2.4.3 升华器的自动测温、控温、报警装置灵敏、可靠,工作正常,2.5 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养》通则执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,完好要求中,凡技术性能指标及有参数要求的条款,应运用相应测试仪表检测;其它采用,主观法,在设备现场检査,中华人民共和国电子工业部1994-04 15批准1994-06-01 实施,1,sj/t 31157-94,下载,3.2 评定方法,3.2.1,3.2.2,设备,3. 2.3,完好要求所列内容中,2.1.1.2. 1. 2、2. 4.1.2. 4 2为主要项目,其余为次要项目,主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出〇,本标准由国营南京电子管厂组织起草,本标准主要起草人:赵志民,2……
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